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RTO在電子行業(yè)的應(yīng)用
電子行業在生產製造過程中會(huì)不斷排放揮發性有機廢氣,這些廢氣(qì)主要為異丙醇、丙酮、甲苯、二甲苯、醋酸丁酯(zhǐ)、乙酸乙酯、甲基乙(yǐ)基酮等。
廢氣處(chù)理工藝流程:
針對電子行業行(háng)業(yè)廢氣(qì)具有風量大、濃度低、種類多等顯著(zhe)特點,治理方案通常采用廢氣過濾(lǜ)+廢氣濃縮+RTO廢氣處理設備對廢氣進行處理。廢氣過濾裝(zhuāng)置采用四級過濾係統,能較有效去除廢氣中0.5um 以上的顆粒物,淨化(huà)效率(lǜ)達到90%。大風量、低濃度的有(yǒu)機廢氣去除顆粒物後可通過(guò)沸石轉輪濃縮成小(xiǎo)風量、高(gāo)濃度氣流,再將濃縮後的高濃度有機廢氣引入RTO廢氣處理係統進行高溫氧化分解。此方案優勢是(shì)廢氣綜合去除效率可達到(dào)99%以上、熱(rè)回收效率達到95%以(yǐ)上。

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